作者：顾春虎,殷晨波,朱亚军,朱斌 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2015年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2015030120 DOC编号：DOCCGQJ2015030129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于COMSOL Multiphysics软件，建立了含Pd纳米线的声表面波(SAW)传感器三维模型，以YZ铌酸锂为压电基底，叉指电极固定于基底表面，分析了Pd纳米线长度对模型本征频率的影响。对电极施加20V电压得到了不同氢气体积分数下电极上电导纳值和本征频率偏移值。通过磁控溅射制作了Pd薄膜，设计了SAW传感器测试夹具，得到了传感器氢敏特性。将仿真值与实验值进行对比，得到了含Pd纳米线氢敏材料的SAW传感器具有比含面形Pd膜传感器更高的灵敏度。

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