《基于弹性膜片的薄膜溅射式拉力传感器研究》PDF+DOC
作者:高阳,李永红,岳凤英,孙玉环,刘期兵,魏坦勇
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2015年第12期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2015120090
DOC编号:DOCCGJS2015120099
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介绍了一种基于弹性膜片结构的拉力传感器,敏感元件薄膜电阻应变栅采用离子束溅射、光刻技术与弹性体结合成一体。文中给出了传感器的基本结构及零点补偿和信号转接电路,介绍了薄膜电桥的制备过程,并对弹性体进行了仿真与分析。实验结果显示,该传感器在满量程范围内能满足设计要求,其额定载荷为850 N,灵敏度优于0.013 77 m V/N。且其安全过载系数约为6.62,为同类拉力传感器的2~3倍。对传感器的标定表明,该传感器的综合误差不大于额定输出的0.013%。
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