作者：冯侨华,马新甜,兰云萍,施云波 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2015年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2015080320 DOC编号：DOCCGQJ2015080329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对Si基微结构气体传感器中Si基与敏感材料之间附着性较差的问题，提出在Si基与敏感材料之间引入纳米孔Al2O3膜形成新型Si基微结构传感器，利用ANSYS分析软件对微结构进行热分析。采用薄膜工艺、光刻工艺、电化学阳极氧化工艺在Si衬底上制成Si基微结构，采用超声波的方法使聚苯胺敏感材料渗入纳米孔Al2O3膜中制成气体传感器，并在室温下测试了传感器对氨气的检测特性。结果表明：将纳米孔Al2O3膜移植到Si基上增加了敏感材料的附着性；传感器对响应时间约为40 s，恢复时间约为960 s，灵敏度随着氨气浓度的增加而增大，并且呈现出良好的线性关系。

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