作者：王家贵,李林峰 单位：成都工具研究所 出版：《工具技术》2013年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJJS2013040410 DOC编号：DOCGJJS2013040419 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 由于测量空间限制和孔本身的特点，孔径测量难度较大。本文设计一种简单易行、高精确度的测量方案，并对孔径载物台进行了设计。其干涉原理采用迈克尔逊干涉原理，数据的采集则采用CCD传感器。可以在大多数情况下实现孔径的测量，其测量精度达到微米级别。

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