作者：赵佶 单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所 出版：《》 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDXX2013040190 DOC编号：DOCBDXX2013040199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS最早应用于汽车和打印机，如今越来越多的消费电子产品采用MEMS传感器以实现各种智能功能，但同时也对MEMS传感器提出更高要求：更好的性能、更小的尺寸、更低的成本。由于MEMS产业的标准化尚未落实，仍然存在“OneProduct，OneProcess”的MEMS定律，这给半导体设备制造商既带来了巨大的技术挑战，又创造了新的市场商机，并推动MEMS工艺不断革新。YoleDeveloppement预计MEMS相关制造设备市场将在接下来五年内，将以5.2%的复合年增长率从2012年的3.78亿美元增长至2018年的5.1亿美元。目前，MEMS制造商通过增加产能、采用更大尺寸的晶圆，以及与设计公司合作研发更小的芯片来降低生产成本。其中，经量产验证的、稳定且高良率的

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