作者：耿赛柳,徐大诚,郭述文 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2013年第07期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2013070200 DOC编号：DOCCGQJ2013070209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中，通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度。采用MS3110微小电容读取电路，根据其输出函数的要求，只要确定Cs1，Cs2，Cf3个电容值，通过(1，0，-1 gn)三点即能确定标度因数(SF)和偏置电压，这样就实现了电容式微加速度计的标度因数自动标定。实验结果表明：通过多次自动定标，传感器标度因数的相对误差为0.79%。

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