作者：刘光辉,亢春梅 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2001年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2001010190 DOC编号：DOCCGQJ2001010199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS技术是一门新兴的技术 ，近年来 ，越来越受到世界各国的重视。主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势

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