作者：广田正树 ,森田信一,江涛 单位：中国科学院上海技术物理研究所 出版：《红外》2001年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWAI2001010070 DOC编号：DOCHWAI2001010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对实现红外技术在夜间和一些死角方面应用的视觉辅助系统，把微机械加工技术和制作微细红外吸收膜的工艺应用到CMOS技术中，使热电堆实现了高性能化。利用运用PSG替代层的分离法制作用低压真空蒸镀法成膜的金黑膜，使吸收膜实现了微细化。制作出三种160μm见方的原型传感器，它们在大气中的灵敏度分别达到300 V/W、140 V/W、60V/W，响应时间常数达 2 ms、0.46ms、0.27 ms。还利用原型传感器制成了 64 &#215；32像元焦平面列阵传感器(FPA)。

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