《微型传感器中氮化硅薄膜的微加工技术》PDF+DOC
作者:金鹏,谭久彬,刘岩
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2001年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2001030170
DOC编号:DOCCGQJ2001030179
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