作者：褚丹雷 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2001年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2001120010 DOC编号：DOCYBJS2001120019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 就如何利用MEMS技术 ，实现压力微传感器的设计进行详细论述。该传感器利用特殊的机械结构 ，大大改善了传统接触式压力传感器 ，工作区域狭小 ，线性度较差等问题 ，使压力传感器在高载荷条件下 ，由小扰度向大扰度过渡时 ，不产生非线性跳变 ，从而大大提高了器件的稳定性与动态特性。

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