《光纤F—P干涉传感器进行精密表面粗糙度测量原理探讨》PDF+DOC
作者:苏寒松,鲍振武
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2001年第S1期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2001S10180
DOC编号:DOCYQXB2001S10189
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本文在双 F— P腔光纤干涉仪测距原理和光纤探针粗糙度测量方法的基础上 ,提出了光纤 F—P干涉传感器的高精度表面粗糙度测量原理。着重探讨了其测试方法
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