《等离子体表面波传感器中金属薄膜厚度的最优控制》PDF+DOC
作者:曹振新,梁大开,郭明江
单位:上海市激光研究所
出版:《应用激光》2001年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYYJG2001050040
DOC编号:DOCYYJG2001050049
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对表面等离子体波传感器性能影响最大的因素就是探头上金属膜层的厚度。因而在研制利用表面等离子体共振效应的各种传感器的过程中 ,精确的控制好镀膜的厚度就有非常重要的意义。本文对利用表面等离子体波本身对厚度的敏感特性来精确的控制所镀膜层厚度进行了探讨
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