《一种新型光纤传感器在精密产品加工中的应用研究》PDF+DOC
作者:曾毅,侯国章
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》2001年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM2001020080
DOC编号:DOCGXJM2001020089
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利用所研制的新型反射式光纤传感器对精密产品加工中的小台阶、沟槽等进行了测试研究。测试系统充分发挥了激光光纤传感测量方法的突出优点 ,实现对精密产品的非接触、快速地检测。传感器的高度分辨力可达 0 .4 μm,定位精度可达±; 2 μm。
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