作者:赖宗声,蔡彦,景圳,贺德洪,郑筱莉 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2001年第01期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2001010020 DOC编号:DOCCGJS2001010029 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文研制了一种无触点的十字型两维集成垂直霍尔器件 ,它对平行于芯片表面的磁场敏感 .当与被测转角 α的物件轴向相固连的径向永久磁铁转动时 ,平行于芯片表面的磁场分量 Bx、By大小将发生相对变化 ,以致集成的两对霍尔板输出电量也产生相应地变化 .这时传感器件给出了相对于被测量角度 α的两种信号电压 ( sinα和 cosα) ,通过 arctgn( Vx/ Vy)可求得转角 α,从而达到测量角度的目的 .测量结果表明利用该角度传感器件与 PC机组成的测量系统其测量角度的精度可达± 1°

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