作者：谢丹,蒋亚东,姜健壮,吴志明,李言荣 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2001年第07期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2001070230 DOC编号：DOCBDTX2001070239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在通常的 MOSFET基础上 ，根据电荷流动电容器原理 ，设计了一种新型的栅区开槽的电荷流动场效应管(CFT) ，并以一种新型有机半导体材料——三明治型稀土金属元素镨双酞菁配合物 (Pr[Pc(OC8H1 7) 8]2 为气敏材料 ，取代栅极中的间隙位置 .利用 L B超分子薄膜技术 ，将 Pr[Pc(OC8H1 7) 8]2 以 1∶ 3的配比与十八烷醇 (OA)混合的 L B多层膜 (Pr[Pc(OC8H1 7) 8]2 - OA)拉制在 CFT上 ，形成了一种新型的具有 CFT结构的 L B膜 NO2 气敏传感器 .当对该器件加一栅压 VGS时 (大于阈值电压 ) ，由于高阻敏感膜充电达 VGS需要一段时间 ，因而漏电流出现延迟现象 .这种弛豫与 NO2 气体浓度有关 ，室温下探测灵敏度可达 5 ppm NO2

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