作者：郑丹,李昕欣 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2001年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2001050010 DOC编号：DOCBDTJ2001050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《传感器技术应用及发展趋势探析》PDF+DOC2014年第12期 孙福强,邓丽华,刘宇,郑甜,洪珊琴 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC1995年第01期 刘忠玉,蔡丽梅 《机电一体化系统中传感器技术的运用》PDF+DOC2017年第23期 熊文静,匡勇江 《浅析传感器在机电一体化中的应用和展望》PDF+DOC2016年第01期 刘丁确 《微光机电系统国内外研究进展》PDF+DOC2000年第08期 梁静秋 《微机械加工技术发展概况(一)》PDF+DOC1998年第05期 鲍敏杭 《硅基热流式微流量传感器研究》PDF+DOC2004年第03期 席文柱,闫卫平,马灵芝,牛德芳 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC2003年第04期 朱长纯,韩建强,刘君华 《论MEMS传感器的应用与发展》PDF+DOC2011年第13期 徐安安 《基于MEMS的悬板式风速传感器的研制》PDF+DOC2009年第05期 韩有君,赵湛,王晓蕾,杜利东,方震

    • 微机械传感器除运用硅基微电子制造技术外，大量应用化学腐蚀、特种高分子薄膜材料、电镀和电化学工艺等化学领域的新技术，形成了很多独特的微机械加工技术。这些技术的运用解决了很多关键性技术问题，极大地推进了微机械传感器技术的发展。本文从体微机械加工、表面微机械加工和ＬＩＧＡ技术三方面论述化学技术在近来新型传感器发展中的技术突破和成果。

    📙 相关资料

    1. 《传感器技术应用及发展趋势探析》PDF+DOC 传感器技术是现代科技中极具发展潜力的一项应用，通过对当前新型传感器技术的应用现状分析，提出了传感器技术在未来发展中的难题和挑战，最后就传感器技术的发展趋势和应用前景进行了探讨。...
    2. 《介绍两种国外微结构式传感器》PDF+DOC 微机械加工技术是现代新型传感器技术的基础，目前它已渗透到传统的传感器领域，高性能的微机械结构传感器已出现.不仅可以制成简单的准三维结构，而且可以做成三维...
    3. 《机电一体化系统中传感器技术的运用》PDF+DOC 社会发展是不断科学化的过程，机电一体化系统已经在许多领域得到应用，且其中的科学技术不断更新，传感器技术作为其基本支撑技术之一也在逐渐扩大应用范围和程度。本文中通过文献综述详细说明机电一体化技术的定义，描述传感器技术在机电一体化系统中的应用情况，并对今后的发展趋势进行了展望，希望对传感器技术在机电一体......
    4. 《浅析传感器在机电一体化中的应用和展望》PDF+DOC 传感器技术是作为采集功能的关键技术，在现代科学领域中的先进技术里传感技术占有着举足轻重的地位，分析阐述了传感器技术在机电一体化系统中的作用及地位，并展望了新型传感器在机电一体化中的发展和思考。...
    5. 《微光机电系统国内外研究进展》PDF+DOC 本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点，并从微制造技术、微器件与系林及微光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状.我国微光机电系统的研究起步并不算晚，近年来成果十分显著，但要缩小与世界先进水平的差距，还需多方面的努力。...
    6. 《微机械加工技术发展概况(一)》PDF+DOC 本文总结介绍了近年来国内外微机械加工技术的新发展，并讨论了微机械技术进一步发展的要求和发展趋势。...
    7. 《硅基热流式微流量传感器研究》PDF+DOC 采用微电子技术和微机械加工技术 ，在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器。在恒功率的工作模式下 ，分析了微流量传感器的特性曲线。实验结果表明 ，硅基热流式微流量传感器的测量范围在 1 0～ 80 0 μL/min之间。...
    8. 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC 概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。...
    9. 《论MEMS传感器的应用与发展》PDF+DOC MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。从消费电子和移动通信，到计算机、医疗电子和工业控制，MEMS技术正在迅速征服每一个市场领域。...
    10. 《基于MEMS的悬板式风速传感器的研制》PDF+DOC 研制了一种基于体微机械加工技术的悬板式风速传感器.传感器由可动极板和固定极板构成，通过测量传感器的输出电容变化量来检测风速.基于流体力学原理对传感器进行了理论分析.将制作的传感器封装在印刷电路板(PCB)上，并置于小型风洞内进行测试.测试结果说明所研制的传感器能够实现0~15.5 m/s范围内的风速......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。