《CCD位移传感器结构参量计算方法》PDF+DOC
作者:马荣贵,宋宏勋
单位:中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所
出版:《光子学报》2001年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGZXB2001020210
DOC编号:DOCGZXB2001020219
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推导了 CCD位移传感器的计算公式 ,给出了一种位移传感器结构参量的数值逼近计算方法 ,实验结果表明 ,利用该方法确定 CCD位移传感器的结构参量 ,可提高测量精度
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