《平膜片式压力传感器有限元分析》PDF+DOC
作者:任钧国,王洪业,欧阳勇
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2001年第02期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2001020130
DOC编号:DOCCGJS2001020139
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本文用有限元方法分析平膜片式压力传感器弹性元件表面径向应变及切向应变与薄膜应变片阻值变化的联系后 ,根据电桥原理得到与其输出电压之间的关系 ,最终并分析了传感器之非线性精度 。
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