《薄膜式锰铜传感器的超高压力标定》PDF+DOC
作者:杜晓松,郝建德,杨邦朝,周鸿仁
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2001年第S1期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2001S10730
DOC编号:DOCYQXB2001S10739
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为拓展锰铜传感器的高压测试上限 ,本文采用薄膜技术研制了一种新型的锰铜传感器。该传感器采用氧化铝封装 ,后置式结构 ,两步薄膜工艺制作。利用二级轻气炮进行了 40~ 10 7GPa的冲击高压加载 ,试验波形呈现出一理想的平台 ,寿命为 1μs。标定曲线 Px(GPa) =6 .0 371+2 9.819(ΔR/ R0 ) +2 1.5 91(ΔR/ R0 ) 2 - 6 .82 6 7(ΔR/ R0 ) 3近似于一条直线 ,精度达±; 3%
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