作者：陈德勇,崔大付,于中尧,王利 单位：中国机械工程学会;郑州机械研究所 出版：《机械强度》2001年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXQD2001040310 DOC编号：DOCJXQD2001040319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。器件采用微电子机械加工技术和键合技术研制。谐振频率 85kHz ，空气中品质因素Q值接近 10 0 0 ，在真空中达到 40 0 0 0。采用闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ，压力测试范围 0～ 40 0kPa ，灵敏度 2 3.8Hz kPa。

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