作者：李琦,周浩敏 单位：上海仪器仪表研究所;上海市仪器仪表学会;中国仪器仪表学会汉字信息处理系统研究会 出版：《仪表技术》2001年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJI2001060240 DOC编号：DOCYBJI2001060249 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍一种新型的压力传感器 ，即静电激励电容拾振的硅谐振压力微传感器。该传感器在可靠性、测量精度、体积、重量等方面都有传统的传感器所不能比拟的优点。实验结果表明 ，其测量精度可以达到 0 .0 2 1%F .S。

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