作者：王道,陈霭番,武少华 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2001年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2001040020 DOC编号：DOCCGJS2001040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 二氧化硫气体传感器由一组梳状电极和做为电介质覆盖其上的 ，对二氧化硫敏感的有机改性硅酸酯薄膜组成 .梳状电极电容的基材为二氧化硅 ，铝电极以薄膜覆在其上 ，电极的厚度为 1 .6μm电极宽度和间隙为 1 5μm，电极的长度为 1 2 0 0μm，电极总数为 40 0个 .采用溶胶 -凝胶法和自旋涂覆技术形成气敏涂层 .在室温和 1 0 0 Hz，1 k Hz，1 0 k Hz下 ，测定了梳状电极电容器的电容 ，探讨了二氧化硫浓度 ，测量频率和涂膜厚度对传感器灵敏度的影响 .在本实验条件下 ，经有机改性的 N，N-二乙基氨丙基 -三甲氧基硅烷比其他同类的硅酸酯对二氧化硫有更高的灵敏度

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