作者：岳瑞峰,刘理天,李志坚 单位：中国科学院半导体研究所;中国电子学会 出版：《Journal of Semiconductors》2001年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTX2001040220 DOC编号：DOCBDTX2001040229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MOS力敏运算放大器》PDF+DOC2001年第08期 岳瑞峰,刘理天,李志坚 《MOS集成硅压力传感器》PDF+DOC1986年第11期 戴克中 《集成压力传感器在含水率测试中的应用》PDF+DOC1999年第05期 陈建国,杜民 《硅盒结构集成MOS环振式压力传感器》PDF+DOC1991年第02期 王跃林,郑心畲,刘理天,李志坚 《硅-兰宝石集成压力传感器原理及制作工艺》PDF+DOC1988年第03期 魏祥毓,吴福贵 《半导体压力传感器》PDF+DOC1986年第04期 洪永根 《简易压力计电路》PDF+DOC1989年第03期 《兰宝石—硅膜的压阻效应》PDF+DOC1987年第02期 黄鸿雁 《低差压硅集成压力传感器》PDF+DOC1981年第05期 周丽芳,牛德芳,胡静山 《新型MOS晶体管式压力传感器》PDF+DOC2007年第Z1期 张艳红,刘理天,张兆华,谭智敏,林惠旺

    • 设计并制作出一种新型集成压力传感器——集成 MOS力敏运放压力传感器 .它将运算放大器中的一对PMOS差分输入管集中设置在 N型 (10 0 ) Si膜片上的最大应力区 ，并使它们的沟道方向相互垂直 ，运放中其它元件全部集中设置在厚体硅上的低应力区 .在压力作用下 ，输入级 MOS管沟道中载流子迁移率发生变化 ，运算放大器以其为输入信号而产生力敏输出 .这种压力传感器具有很高的压力响应灵敏度 ，可望在诸多领域有广泛应用 。

    📙 相关资料

    1. 《MOS力敏运算放大器》PDF+DOC 利用MOSFET的压阻效应 ，本文提出了力敏运算放大器的概念、基本原理和设计思想 .作为其应用之一 ，研制出一种新型集成压力传感器———集成MOS力敏运放压力传感器 .这种压力传感器具有很高的压力响应灵敏度 ，可望在诸多领域有广泛应用...
    2. 《MOS集成硅压力传感器》PDF+DOC 一种MOS集成硅膜片压力传感器已研制成功，它包括在半桥电路中的二个压敏电阻和一个带有单端 N M O S 运算放大器的新型简单的信号调节电路。半桥上压力敏感度的负温度系数由带有温度敏感集成反馈电阻的变增益放大器的正温度系数来补偿。除了膜片的构成采用了 N_2H_4&#183；H_2O 各向异......
    3. 《集成压力传感器在含水率测试中的应用》PDF+DOC 介绍一种利用半导体单晶压阻效应制成的新型集成压力传感器－ 将其应用于含水率快速检测中， 使检测精确度得以提高...
    4. 《硅盒结构集成MOS环振式压力传感器》PDF+DOC 本文报道了一种硅盒结构的、具有频率输出的集成MOS环振式压力传感器。结果表明，与该结构相对应的硅盒技术与IC工艺完全兼容，非常适合集成压力传感器的制作，为进一步研制各种集成压力传感器提供了一种简单的、先进的技术。文中还讨论了硅盒结构PMOSFET的力敏特性。...
    5. 《硅-兰宝石集成压力传感器原理及制作工艺》PDF+DOC 硅-兰宝石集成压力传感器是一种无隔离结的固态压阻式传感器，它具有耐高温，耐腐蚀，抗辐射等许多硅集成压力传感器所无法比拟的优点。本论文在简要分析了硅-兰宝石压力传感器原理的基础上，就宝石杯的加工，P型硅膜的外延，及敏感桥路制作的重要关键工艺进行了较详尽的探讨、分析，并分别给出了相应的解决方法。此外，还......
    6. 《半导体压力传感器》PDF+DOC 江宁机械厂生产的SF压力传感器适用于精确测量流体压力，并且能精确反映流体压力的电讯号。该传感器利用单晶硅的极为显著的压阻效应，同时采用先进的半导体平面集成制作...
    7. 《简易压力计电路》PDF+DOC 采用扩散型半导体压力传感器(下面简称扩散型压力传感器)，可较方便地将流体压力转换成电量。在几毫米见方的硅片上，按桥式配置扩散电阻，当压力施加在硅片上时，电阻就发生变化。扩散型压力传感器，就是利用这种压阻效应，将压力转换为电量的元件。硅片的厚度腐蚀成几十纳米，根据厚度及其它因素来决定额定压力。由于额定......
    8. 《兰宝石—硅膜的压阻效应》PDF+DOC 利用膜片上的n沟道增强型MOSFET和径向排列的n~+扩散电阻器研究了兰宝石—硅膜(SOS)的压阻效应。SOS材料上的扩散电阻器由压力产生的电导变化与块状硅片上的相差不大。但SOS材料和块状硅片上的MOSFET的结果却有明显区别。根据反型层的变形势能理论和表面量子效应进行了理论探讨，得出如下结论：实......
    9. 《低差压硅集成压力传感器》PDF+DOC 硅扩散型力敏器件是一种新型半导体器件。本文从设计要求及理论角度介绍低差压硅集成压力传感器。...
    10. 《新型MOS晶体管式压力传感器》PDF+DOC 在应力作用下，MOS晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化。基于MOS晶体管的这种力敏效应，采用晶体管和电阻构成压敏电桥，提出了一种新型的MOS晶体管式压力传感器。该器件在与目前最常用的压阻式压力传感器相比，继承了其制作工艺简单、稳定性和线性度好等优点，大幅提高了传感器灵敏度并降低了功......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。