《应用MEMS技术,可以缩小传感器与探测器的体积——采用晶圆片大小的红外线气体探测器,可以制成体积小,精度高,可靠性也高,但是价格便宜的光学仪器。》PDF+DOC
作者:袁丁
单位:电子工业出版社;美国国际数据集团
出版:《今日电子》2001年第07期
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PDF编号:PDFDZJR2001070010
DOC编号:DOCDZJR2001070019
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有一家传感器制造商,已经开始应用MEMS技术,在芯片上制造气体探测器样品了。这家公司的专有技术,有可能将体积庞大,价格昂贵的气体与化学品探测器和仪器制作在硅芯片上;这样的探测器,不论从体积大小方面考虑,还是从价格成本方面考虑,都能满足商业化的要求。
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