《硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试》PDF+DOC

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2. 《一种硅微压阻式压力传感器的研究》PDF+DOC 研究了一种量程为20kPa的压阻式微压力传感器，同时采用ANSYS仿真得出影响传感器性能的一些规律。应用小挠度理论设计计算了压阻式硅传感器方形弹性膜片结构，并对圆形膜片与方形膜片进行了比较，同时设计了硅芯片以及压敏电阻的尺寸和阻值。通过模型分析和对方型硅膜片的模拟计算，确定了压敏电阻最佳放置位置，来......
3. 《压阻式微压力传感器结构参数设计》PDF+DOC 在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上，根据传感器的灵敏度与线性度特点，设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器。在满足计算要求的条件下，对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真；并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值。仿真结果表明，该设计方法对微压力传感器的研制具有一......
4. 《压阻式金刚石微压力传感器》PDF+DOC 工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度压阻型金刚石微压力传感器的原理、结构及其制造技术作了详细介绍。这种传......
5. 《微压力传感器接口电路设计》PDF+DOC 完成了微压力传感器接口电路设计。采用惠斯通电桥滤出微压力传感器输出的模拟变量，然后用INA118放大器将此信号放大，用7715A/D进行模数转换，将转换完成的数字量经单片机处理，最后由LCD将其显示，采用LM334做的精密5 V恒流源为电桥电路供电。既能保证检测的实时性，也能提高测量精度。...
6. 《介观压阻型微压力传感器设计》PDF+DOC 运用共振隧穿双势垒(DBRT)结构中的一种压阻效应原理—介观压阻效应，用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件，设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器。并对介观压阻和普通压阻灵敏度的量级作出了比较，验证了介观压阻效应原理，可以提高压力传感器的灵敏度，为制造基于介观压阻效应的......
7. 《介观压阻型硅微压力传感器仿真分析》PDF+DOC 为了突破传统机电转换局限，提高压力传感器灵敏度，提出以介观压阻效应[1]为工作原理制作高灵敏度的硅微压力传感器，设计了一种圆形的平膜片结构，建立其三维实体有限元模型，通过理论分析与仿真计算，得出该结构的尺寸对其灵敏度、固有频率、谐振频率及模态振型的影响规律，为此类压力传感器结构的优化设计提供参考。...
8. 《小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计》PDF+DOC 为了提高小量程微压力传感器的灵敏度，提出了一种新结构模型，通过理论分析，发现硅膜越薄，量程越小，灵敏度越高。并对此模型进行ANSYS应力仿真，发现在小量程负荷条件下，新结构模型应力峰值约为10.7 MPa，C型硅杯应力峰值为2.25 MPa，E型硅杯应力峰值为2.8 MPa，通过比较可以看出，优化后......
9. 《硅微微压传感器研究进展》PDF+DOC 硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点，回顾了它们的微压化进展，并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100 Pa)的电容式结构形式。针对其研究过程中存在的主要难点，提出了双差动结构模型，即机械与电路部分均采用差......
10. 《基于铁基非晶态合金细丝的微压力传感器》PDF+DOC 对一种利用Fe基非晶态软磁合金细丝作为敏感材料的新型微压磁式压力传感器进行了可行性研究。介绍了这种传感器的结构、工作原理、输出特性以及主要参数的选择。通过试验，分析了传感器的静态特性。试验结果表明：这种传感器的最大线性误差为1.11%F.S，最大不重复误差为0.85%F.S，未经放大的最大灵敏度为2......