作者：吕惠民,雷天民,吴民强 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2001年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2001080020 DOC编号：DOCBDTJ2001080029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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