作者：陈德勇,崔大付,王利,于中尧,韩泾鸿 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2001年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2001020190 DOC编号：DOCCGQJ2001020199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大于 10 0 0 0。采用特殊闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ，压力测试范围 0～ 40 0kPa ，线性相关系数 0 .9999，测试精度优于 0 .1%FS。

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