作者：虞承端 单位：中国电子元件行业协会;中国电子学会元件分会 出版：《电子元器件应用》2001年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQJY2001050110 DOC编号：DOCYQJY2001050119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化，微机械加工技术则是硅微传感器的基础工艺技术，也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本文介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。

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