作者：马以武,虞学犬 单位：中国电子元件行业协会;中国电子学会元件分会 出版：《电子元器件应用》2001年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQJY2001040040 DOC编号：DOCYQJY2001040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件，具有抗干扰能力强，灵敏度高，受分布电容、寄生电容影响小，耐腐蚀，耐高温的特点。本文主要介绍其原理、感压元件设计，并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。

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