作者：马以武,虞学犬 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2001年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2001110000 DOC编号：DOCYBJS2001110009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用厚膜传感技术研制电容式感压元件 ，并通过厚膜混合集成技术将信号处理电路集成在感压元件上成为一体 ，进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究。结果表明 ：研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器 ，线性达到 0 .5 % ，迟滞小于 0 .5 % ，具有重复性好、受分布电容、寄生电容影响小、精度高、抗过载、耐腐蚀等特点。对厚膜感压元件、信号处理电路的设计与平面化加工以及集成化等进行了介绍 ，并对集成化中相关工艺、兼容性及性能进行了讨论。

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