《基于微电子技术的微型化学与生物传感器》PDF+DOC
作者:章宗穰,吴霞琴,张国雄,朱建中
单位:中国仪器仪表学会
出版:《化学传感器》2001年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHXCH2001030020
DOC编号:DOCHXCH2001030029
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近二十年来,电极尺寸相当于或小于微米级的微电极技术已有了长足的发展,并显示了有别于常规电极的优越性能。以迅速发展着的微电子技术制作的微电极也为微型化学传感器和生物传感器的批量制作及商品化展现了引人注目的前景。以厚膜和薄膜技术制作的微电极已在微型传感器领域中得到了相当成功的应用,某些微型气体传感器和生物传感器已实现商品化。近年来,基于硅片各相异性三维刻蚀的微机械加工技术也已用于微型传感器的制作。作者在长期从事电流型化学与生物传感器研究工作的基础上,自90年代初起即依托中科院上海冶金所国家传感技术重点实验室,开展了以开发适合于批量制作的微型化学及生物传感器为目标的合作研究项目。与此同时,也对微电极的电化学特性及生物活性分子的表面修饰技术进行了较深入的探索。本文将对作者所在的联合课题组多年来的研究工作作
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