作者：许高攀,陈广文,胡国清,李志博 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2001年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2001090120 DOC编号：DOCYBJS2001090129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 双面接触式电容压力传感器除了具有单面接触式电容压力传感器的优点 ，还有它的特别之处 ：双面接触式电容压力传感器被施加同样的压力时 ，可以得到比单面接触式电容压力传感器增大一倍的电容量和灵敏度 ，而且不会因此增加多少成本 ；工作时可靠性更高 ，即使一面失灵还有另一面可以正常工作。文中就双面接触式电容压力传感器的工艺进行了初步设计。

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