《扩散硅绝对压力传感器的补偿方法研究》PDF+DOC
作者:张秀珍,马秀娟,戴伏生
单位:成都市计量监督检定测试院
出版:《计量与测试技术》2001年第01期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLYS2001010100
DOC编号:DOCJLYS2001010109
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本文简要介绍了扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构 ,重点分析了传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数及其温度补偿的方法 ,解决了此类传感器的稳定性问题
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