作者： 单位：信息产业部电子科学技术情报研究所 出版：《电子科技文摘》2001年第02期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDKWZ2001021590 DOC编号：DOCDKWZ2001021599 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 0103362汽车变截面板簧轧机计算机控制系统的研究[刊]/万文略//电子技术应用.—2000，26(10).—23～24(D)介绍两辊式汽车变截面板簧轧机计算机控制系统的主要硬件结构、设计方法，以及多模态智能控制算法在液压伺服系统中的应用。该控制系统设计合理，运行稳定，控制精度高。参3Y2000-62443-4179 0103363半导体生产过程的过程控制的自激微传感器阵=Au-tonomous micro-sensor arrays for process control of semi-conductor manufacturing processes[会，英]/Fisher，D.＆ Freed，M.//1999 IEEE Decision and Control，Vol.4.—4179～4184(HC)本文首先研究了自激微传感器阵对半导体生产的应用，接着讨论了为实现生产微传感器阵必须研究的关键问题。然后描述了解决空间蚀刻速率和温度传感器正在开发的研究计划。参19

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