《镍薄膜电阻作为多功能传感器的温度敏感元件》PDF+DOC
作者:王蔚,刘晓为,王喜莲,马战
单位:哈尔滨工业大学
出版:《哈尔滨工业大学学报》2001年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHEBX2001030270
DOC编号:DOCHEBX2001030279
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为解决铝薄膜和银薄膜电阻率小、热敏电阻灵敏度低、耐腐蚀性差、工作温度低等问题 ,提出镍薄膜电阻可以作为温度敏感元件集成在压力传感器上 .对镍薄膜热敏电阻的制备方法、温度敏感特性进行了分析与实验研究 ,并将其集成在耐高温压力传感器上 ,对制备的压力 -温度多功能传感器进行了测试 .结果表明传感器可在室温至 2 0 0℃温度范围工作并达到较高精度 ,可以推广使用 。
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