作者：牛德芳,沈月婷,庞济,仲崇权,殷福亮 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2001年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2001010010 DOC编号：DOCYBJS2001010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文中介绍一种新式微机械双杯平面复合差动电容压力传感器的结构设计、工作原理及加工工艺 ，同时 ，对传感器的硬件电路、软件设计也作简要说明 ，并通过实验测试结果反映其结构的新颖性和设计的合理可行性

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