作者：刘庆纲,杨勇,胡小唐,藤井贤一,田中充 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2001年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2001S11560 DOC编号：DOCYQXB2001S11569 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了获得更高的测量精度和最小的测量不确定度 ，在进行纳米级测试任务过程中 ，人们需要对环境进行更严格的测试及控制 ，如空气压力、湿度、温度、振动等。其中温度的测量和控制对纳米级精度的测量来说 ，是至关重要的。本文介绍一种基于虚拟测试技术建立的在高精度球体直径测量激光干涉系统中采用的温度测量和控制系统

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