《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC
作者:朱目成
单位:上海仪器仪表研究所;上海市仪器仪表学会;中国仪器仪表学会汉字信息处理系统研究会
出版:《仪表技术》2001年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJI2001010190
DOC编号:DOCYBJI2001010199
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介绍一种高灵敏度硅压阻式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ;通过分析和实践 ,得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。
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