作者：莘海维,张志明,沈荷生,戴永兵,万永中 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2001年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2001010140 DOC编号：DOCWXJS2001010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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