作者：那兴波,牛文成,李华伟,谢建湘 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2001年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2001020000 DOC编号：DOCCGJS2001020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于碳糊成膜 (carbonpastefilmforming)方法 ，我们研制了一种MISFET结构的Pt LaF3 混合膜全固态溶解氧传感器 .对传感器的器件结构以及Pt LaF3 敏感膜的敏感机制和响应特性进行了分析 ，并实际测试了器件特性 .给出了在不同工作点和不同温度条件下器件的输出电压对溶解氧浓度变化的响应曲线 .实验结果表明 ，我们所提出的器件可以用于测量溶解氧含量 。

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