作者：虞学犬,马以武 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2001年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2001030000 DOC编号：DOCYBJS2001030009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件。具有抗干扰能力强 ，灵敏度高 ，受分布电容、寄生电容影响小 ，耐腐蚀 ，耐高温的特点。文中主要介绍其电容式感压元件的原理、设计 ，并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。

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