作者：夏钟福,邱勋林,朱伽倩,张冶文 单位：中国电科技集团公司第三研究所 出版：《电声技术》2001年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDSJS2001070040 DOC编号：DOCDSJS2001070049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新的电声换能器件》PDF+DOC1986年第06期 G.M.Sessler ,张银华 ,丁蔚 《一种声电式滑觉传感器的实现与测试》PDF+DOC2011年第03期 胡燕清,陈进军,胡国清 《静电声和超声传感器的进展(英文)》PDF+DOC2000年第03期 葛立峰 《强噪声中的声检测研究》PDF+DOC1994年第04期 何遵文,李在庭 《空气压力传感器的研究》PDF+DOC1990年第05期 钱志鸿,李桂成 《声学传感器》PDF+DOC1992年第02期 G M Sessler,张晓蓉 《高声压级驻极体噪声传感器的改进研究》PDF+DOC2006年第06期 王海清,顾祈祥 《分子印迹阵列式传感器的研究进展》PDF+DOC 徐微微,龙泽荣,鹿毅,王吉德 《压力传感器技术的新进展》PDF+DOC1984年第04期 文鸣岐 《微型硅传感器的发展》PDF+DOC1982年第06期 S.密德尔霍克,D.J.W.挪尔拉格,远宇,柯汕

    • 综述了近20年来硅传感器研究工作的现状与进展。硅微型传声器具有小尺寸（振膜面积约为1 mm2量级），由于极薄的振膜厚度（＜1 μm）导致其低振动灵敏度，传感单元的可集成化和传感器与放大器的一体化工艺，以及由于应用刻蚀工艺的器件制作的低成本等优点。

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