作者:田雷,孙凤玲,寇文兵 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2001年第02期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2001020200 DOC编号:DOCCGQJ2001020209 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《可任意分布的精密压电传感器阵列》PDF+DOC1996年第02期 李平,文玉梅 《触觉传感器的发展》PDF+DOC1995年第05期 白韶红 《集成触觉传感器阵列》PDF+DOC1990年第02期 黄庆安,童勤义 《集成多传感器芯片》PDF+DOC1990年第08期 D.L.POLLA ,RICHARD S.MULLER ,RICHARD M.WHITE ,石广源 《半导体集成传感器陈列》PDF+DOC1987年第01期 朱秀文 《机器人触觉传感器》PDF+DOC1986年第04期 张纶,李崇智 《可连续检测三维力的人工皮肤简介》PDF+DOC2011年第02期 黄英,葛运建 《触觉传感阵列信号的信息融合处理》PDF+DOC2010年第06期 郭兵,秦岚,魏彪 《电子鼻技术的研究进展及其在农产品加工中的应用》PDF+DOC2003年第05期 于勇,王俊,周鸣 《“人工皮肤”在皖问世》PDF+DOC2010年第06期
  • 介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有 10 0个触觉单元 ,芯片尺寸为 2 5mm×2 5mm ,厚度小于 10mm。在制造工艺上 ,把CMOS工艺和半导体平面工艺融为一体 ,利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点 ,易于感受所触物体 ,其测试、记录过程由计算机完成。该种传感器具有一定的开发价值和应用前景。

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