《集成化触觉阵列传感器的研制》PDF+DOC
作者:田雷,孙凤玲,寇文兵
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2001年第02期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2001020200
DOC编号:DOCCGQJ2001020209
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介绍了一种集成化单晶硅触觉阵列传感器。该传感器共有 10 0个触觉单元 ,芯片尺寸为 2 5mm×;2 5mm ,厚度小于 10mm。在制造工艺上 ,把CMOS工艺和半导体平面工艺融为一体 ,利用MEMS技术在每个触觉单元上制造了触觉受力点 ,易于感受所触物体 ,其测试、记录过程由计算机完成。该种传感器具有一定的开发价值和应用前景。
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