《高温半导体压力传感器技术》PDF+DOC
作者:韩小亮,朱作云,李跃进
单位:西安电子科技大学
出版:《西安电子科技大学学报》2001年第01期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDKD2001010270
DOC编号:DOCXDKD2001010279
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介绍了高温半导体压力传感器的应用和国内外研究发展现状 ,论述了几种主要的高温半导体压力传感器的工作原理和关键技术 ,比较了不同传感器结构和制作工艺之间的优缺点 ,重点介绍了新型SiC高温压力传感器
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