《双膜片石英谐振式力传感器设计及其性能研究》PDF+DOC
作者:王晓红,朱惠忠,冯冠平
单位:清华大学
出版:《清华大学学报(自然科学版)》2001年第01期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFQHXB2001010270
DOC编号:DOCQHXB2001010279
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将石英谐振器分别假设为正交各向异性体和各向同性体 ,利用有限元法对其进行失稳时临界力的计算和分析 ,得出了传感器结构稳定性与谐振器厚度及支撑条件的关系。在此基础上 ,对传感器结构进行了改进 ,并对单、双膜片结构传感器的各种性能进行了实验研究 ,得出如下结论 :传感器由单膜片结构改制成双膜片结构后 ,其非线性误差、滞后误差、重复性误差和蠕变误差普遍降低 ,滞后和重复性指标的提高尤为显著 ;另外 ,双膜片结构传感器的抗偏载及横向冲击能力大大增强 ,可靠性明显提高
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