作者：穆林枫,张文栋,何常德,张睿,宋金龙,薛晨阳 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015080010 DOC编号：DOCYBJS2015080019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对现有微电容超声传感器(CMUT)寄生电容大的问题，采用绝缘技术将振动薄膜与上电极金属完全隔离的方法，避免了掺杂效应的发生，从而减小了寄生电容。文中以电容变化率为主线，分别对微传感器和跨阻检测电路的电容变化率进行了计算和仿真，建立了传感器与电路检测的通道，并通过水下测试系统的搭建，对其进行实验验证。测试结果表明，实际输出电压的值为0.8 V，与理论计算值0.61 V相近，从而验证了CMUT的可用性及其测试系统的可行性。

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