作者：沈健 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2002年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2002080290 DOC编号：DOCJCDI2002080299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 颗粒测量系统公司(Particle Measuring systems Inc.)生产的AiM监测器可以对沉积于SiO2表面的空气分子沾污(AMC)进行实时监测，所获得的数据对于了解洁净室内的工艺过程与产生AMC间的相互关系特别有用。通过监测吸附物总量的长期变化趋势，可以确定洁净室内环境沾污的基本值，以及有利于对新污染源的早期确认。

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