作者： 单位：全国化工商品情报中心站 出版：《化工科技市场》2002年第05期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHGKB2002050190 DOC编号：DOCHGKB2002050199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 硅锥体生产工艺技术(英国) 伯明翰大学的科学家们正关注认可一项生产技术，该技术可用于在一种有一个硅表面的基质上生产大量的硅锥体或硅柱体。这些锥形体可先涂上一层氧化膜，以形成作为电极的金属。其目的在于生产一系列可在平板显示器和气体传感器方面应用的冷阴极电子源。该加工过程的第一步包括一种可蚀刻物质的沉积作用，该物质比硅更能抗蚀刻作用。一种可能性是使用银簇金属作为蚀刻材料喷到硅材料

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