《薄膜锰铜计对100GPa动压的测量》PDF+DOC
作者:杨邦朝,杜晓松
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2001年第09期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2001090010
DOC编号:DOCCGSJ2001090019
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为拓展锰铜传感器的高压测试上限,本文采用薄膜技术研制了一种新型的锰铜传感器。该传感器采用氧化铝封装,后置式结构,两步薄膜工艺制作。利用二级轻气炮进行了40-107GPa的冲击高压加载,试验波形呈现出-理想的平台,寿命为1μs0标定蓝线Px(GPa)=6.0371+29.819(△R/R0)+21.591(△R/R0)2-6.8267(△R/R0)2近似于一条直线,精度达±;3%。
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