作者：刘路,解晶莹 单位：中国电子科技集团公司;第十八研究所 出版：《电源技术》2002年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDYJS2002060220 DOC编号：DOCDYJS2002060229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 微电子机械系统 (MEMS———MicroElectroMechanicalSystems) ，是指运用微电子加工技术和微机械加工技术 ，在较小的物理尺寸上 ，集成了微机械元件 ，微传感器 ，微机械执行器 ，微电子元件、电路和供能部件的器件或是系统。目前供能问题已经成为MEMS降低成本、进入实用化、自动化的最大障碍。现有的一个解决方案是微能源。介绍了微能源技术的发展和技术现状 ，分别讨论了微型内燃机系统、微燃料电池、微太阳电池、微型锂电池、微型核电池等几种微能源的制造工艺 ，工作特性以及应用现状。简单分析了微能源的发展方向和应用前景。

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